简单介绍玻璃基离子交换的制作方法

    制作玻璃基离子交换光波导的方法，在波导制作工艺 过程中引入对图形化的铝膜的阳极氧化预处理，以柠檬酸溶液作为电解液和电解介质的方法完成对图形化的铝膜的氧化，实现简单，氧化铝掩膜对银线的抑制效果好；制作得到的光波导与光纤匹配良好，损耗低。

    本发明的技术方案包括一种制作玻璃基离子交换光导的方法，包括在玻璃基片上形成图案化的铝膜；对铝膜进行阳极氧化处理；对带有处理后的铝掩膜的玻璃基片进行离子交换，形成光波导。其中，在该阳极氧化处理过程中采用柠檬酸溶液作为电解液。

    该玻璃基片带有图案化铝膜一侧所在的柠檬酸溶液中设置正极，相对一侧所在的柠檬酸溶液中设置负极。所述柠檬酸溶液的质量分数为10% -30%.其中，在该阳极氧化处理过程中，加载100-300伏特的电压。本发明还包括一种用于对铝膜进行阳极氧化处理的装置，包括第一容器，用于容纳第一电解液。

    第二容器，至少底部设有开口，该第二容器置于该第一容器内并用于容纳第二电解液；其中，该第二容器底部开口用于与具有该待处理的铝膜的玻璃基片密封连接，从而将所述第一电解液与所述第二电解液隔开。其中，所述铝膜面向该第二电解液，正电极设置在该第二电解液中，负电极在该第一电解液中。